Titeldetails:
TitelMicrosystems technology Lab&Fab
VerantwortlichFraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, IMS
Autor/in Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Medientyp Print
Publikationstyp Buch
Erschienen 2012
Duisburg
Umfang23 S. : Ill., graph. Darst., Kt.
Raumsystematik 05112 Duisburg |
Sachsystematik 547600 Technik |
798200 Außeruniversitäre Forschung und Wissenschaft |
Schlagwörter Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme | Mikrosystemtechnik | Laboratorium
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